MgF2-substraatti
Kuvaus
MgF2:ta käytetään linssinä, prismana ja ikkunana aallonpituuksille 110 nm - 7,5 μm.Se on sopivin materiaali ArF Excimer Laserin ikkunaksi hyvän läpäisynsä vuoksi 193nm:ssä.Se on myös tehokas optisena polarisaattorina ultraviolettialueella.
Ominaisuudet
| Tiheys (g/cm).3） | 3.18 |
| Sulamispiste (℃) | 1255 |
| Lämmönjohtokyky | 0,3 Wm-1K-1 300K:ssa |
| Lämpölaajeneminen | 13,7 x 10-6 /℃ yhdensuuntainen c-akseli 8,9 x 10-6 /℃ kohtisuorassa c-akselilla |
| Knoop-kovuus | 415, 100 g sisennys (kg/mm2) |
| Ominaislämpökapasiteetti | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektrinen vakio | 1,87 1 MHz:n taajuudella yhdensuuntainen c-akseli 1,45 1 MHz:llä kohtisuorassa c-akselissa |
| Nuorten moduuli (E) | 138,5 GPa |
| Leikkausmoduuli (G) | 54,66 GPa |
| Bulk Modulus (K) | 101,32 GPa |
| Elastinen kerroin | C11 = 164;C12 = 53;C44 = 33,7 C13 = 63;C66 = 96 |
| Näennäinen elastinen raja | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Poisson-suhde | 0,276 |
MgF2-substraatin määritelmä
MgF2-substraatti viittaa magnesiumfluoridin (MgF2) kidemateriaalista valmistettuun substraattiin.MgF2 on epäorgaaninen yhdiste, joka koostuu magnesiumista (Mg) ja fluorista (F).
MgF2-substraateilla on useita merkittäviä ominaisuuksia, jotka tekevät niistä suosittuja erilaisissa sovelluksissa, erityisesti optiikan ja ohutkalvopinnoituksen aloilla:
1. Suuri läpinäkyvyys: MgF2:lla on erinomainen läpinäkyvyys sähkömagneettisen spektrin ultravioletti (UV), näkyvä ja infrapuna (IR) alueilla.Sillä on laaja siirtoalue ultraviolettisäteilystä noin 115 nm:ssä noin 7 500 nm:n infrapunaan.
2. Alhainen taitekerroin: MgF2:lla on suhteellisen alhainen taitekerroin, mikä tekee siitä ihanteellisen materiaalin AR-pinnoitteisiin ja optiikkaan, koska se minimoi ei-toivotut heijastukset ja parantaa valonläpäisyä.
3. Alhainen absorptio: MgF2:lla on alhainen absorptio ultravioletti- ja näkyvällä spektrialueella.Tämä ominaisuus tekee siitä hyödyllisen sovelluksissa, jotka vaativat suurta optista selkeyttä, kuten linssit, prismat ja ikkunat ultraviolettisäteitä tai näkyviä säteitä varten.
4. Kemiallinen stabiilisuus: MgF2 on kemiallisesti stabiili, kestää monenlaisia kemikaaleja ja säilyttää optiset ja fysikaaliset ominaisuutensa erilaisissa ympäristöolosuhteissa.
5. Lämpöstabiilisuus: MgF2:lla on korkea sulamispiste ja se kestää korkeita työlämpötiloja ilman merkittävää hajoamista.
MgF2-substraatteja käytetään yleisesti optisissa pinnoitteissa, ohutkalvopinnoitusprosesseissa ja optisissa ikkunoissa tai linsseissä eri laitteissa ja järjestelmissä.Ne voivat toimia myös puskurikerroksina tai malleina muiden ohuiden kalvojen, kuten puolijohdemateriaalien tai metallipinnoitteiden, kasvattamiseen.
Nämä substraatit valmistetaan tyypillisesti käyttämällä tekniikoita, kuten höyrypinnoitus- tai fysikaalisia höyrynsiirtomenetelmiä, joissa MgF2-materiaali kerrostetaan sopivalle substraattimateriaalille tai kasvatetaan yksittäiskiteeksi.Sovellusvaatimuksista riippuen substraatit voivat olla kiekkojen, levyjen tai mukautetun muotoisia.
