SrTiO3-substraatti
Kuvaus
SrTiO3-yksikiteellä on hyvä perovskiittirakennemateriaalin hilarakenne.Se on erinomainen substraattimateriaali HTS:n ja useimpien oksidikalvojen epitaksiseen kasvuun.Sitä on käytetty laajasti korkean lämpötilan suprajohtavien ohuiden kalvojen tutkimuksessa.Sitä käytetään myös laajasti erityisissä optisissa ikkunoissa ja korkealaatuisissa sputterointikohteissa.
Ominaisuudet
Suunta: (100) +/-0,5 astetta
Reunan suuntausmerkintä: <001> +/-2 astetta saatavana lisävarusteena lisähintaan
Kiillotus: Toinen puoli EPI on kiillotettu CMP-tekniikalla vähemmällä pinnan alla olevalla hilavauriolla.
Pakkaus: Pakattu 100-luokan muovipussiin 1000-luokan puhdastilan alle.
| Kristallirakenne | Kuutio, a = 3,905 A |
| Kasvumenetelmä | Vernuil |
| Tiheys (g/cm).3） | 5.175 |
| Sulamispiste (℃) | 2080 |
| Kovuus (Mho) | 6 |
| Lämpölaajeneminen | 10,4 (x10-6/ ℃) |
| Dielektrinen vakio | ~ 300 |
| Häviötangentti 10 GHz:ssä | ~5x10-4@ 300K , ~3 x10-4@77K |
| Väri ja ulkonäkö | Läpinäkyvä (joskus hieman ruskea hehkutusolosuhteiden mukaan). Ei kaksosia |
| Kemiallinen stabiilisuus | Ei liukene veteen |
SrTiO3-substraatin määritelmä
SrTiO3-substraatti viittaa kiteiseen substraattiin, joka on valmistettu yhdisteestä strontiumtitanaatti (SrTiO3).SrTiO3 on kuutiokiteisen kiderakenteen omaava perovskiittimateriaali, jolle on tunnusomaista korkea dielektrisyysvakio, korkea lämpöstabiilisuus ja hyvä hilan yhteensopivuus monien muiden materiaalien kanssa.
SrTiO3-substraatteja käytetään laajalti ohutkalvopinnoituksen ja epitaksiaalisen kasvun aloilla.SrTiO3:n kuutiorakenne mahdollistaa korkealaatuisten ohuiden kalvojen kasvun, joilla on erinomainen kiteinen laatu ja pieni virhetiheys.Tämä tekee SrTiO3-substraateista erittäin sopivia epitaksiaalisten kalvojen ja heterorakenteiden kasvattamiseen erilaisiin sovelluksiin.
SrTiO3:n korkea dielektrisyysvakio tekee siitä sopivan sovelluksiin, kuten kondensaattoreihin, muistilaitteisiin ja ferrosähköisiin ohutkalvoihin.Sen lämpöstabiilisuus tekee siitä sopivan korkeisiin lämpötiloihin.
Lisäksi SrTiO3:n monipuoliset ominaisuudet, kuten sen metallinjohtavuus alhaisissa lämpötiloissa ja mahdollisuus aiheuttaa suprajohtavaa tilaa, tekevät siitä hyödyllisen kondensoituneen aineen fysiikan tutkimuksessa sekä elektronisten ja optoelektronisten laitteiden kehittämisessä.
Yhteenvetona voidaan todeta, että SrTiO3-substraatit ovat strontiumtitanaatista valmistettuja kiteisiä substraatteja, joita käytetään yleisesti ohutkalvopinnoituksessa, epitaksiaalisessa kasvussa ja monenlaisissa elektronisissa ja optoelektronisissa sovelluksissa niiden korkean dielektrisyysvakion, lämpöstabiilisuuden ja hyvien hilan sovitusominaisuuksien vuoksi.
